今年7月后,ASML、Canon、SVG先后研制成功90nm制程工艺的光刻机,给GCA和Nikon很大的压力,不得不降价。
全球半导体产业从今年第4季度开始,订单同比明显减少,专家预测,衰退周期已经开始,光刻机产业也不能避免,账上有50亿多美元现金流的GCA,在5月份的董事会上,孙董事长已做出决定,生产部门除完成订单业务外,将停止生产。生产部门的管理层和普通员工,除了享受带薪休假外,停工期间,生产部门的管理层和普通员工将降薪50%,回家休息,大家共渡难关。
GCA和Nikon去年3、5月就先后量产了12英寸晶圆、90nm制程工艺的光刻机,但如今都被193nm波长的世界性难题卡住了。
科学家们发现,193nm波长光刻机的极限制程工艺是90nm,再往下就很难实现了,如何突破90nm,跨入65nm制程工艺,成为阻挡在所有光刻机公司面前的拦路虎。
虽然提出了157nm干式光刻技术和EUV技术,但一晃过去近2年,GCA和Nikon的科学家们还没有攻克65nm制程工艺,不然的话,早就研发成功65nm制程工艺,甚至45nm制程工艺的光刻机了。
前世,光刻机产业在193nm波长上卡了将近20年!
BSEC研究院集中力量正在研制90nm制程工艺的光刻机,一旦研制成功,在光刻机行业就可以同GCA和Nikon等公司平起平坐了。
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这也是重生者有信心带领BSEC赶上GCA和Nikon的机会!
“孙先生,我代表东芝公司同意!”
中村三郎笑了,从1991年3月同孙健开始打交道,双方合作愉快。
“中村先生,合作愉快!”